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在半导体工业，真空设备(蒸发、溅射)、干法雷器(ICP、RIE、ICP、RIE、PECVD)、热处理设备(合金炉、退火炉)、掺杂设备(离子注入机等)作为半导体技术发展所必需的条件，这些真空设备必将发挥越来越大的作用。氦质谱仪是目前半导体设备泄漏检测中的常用仪器。诺益科技生产的氦质谱检漏仪在通讯/电子及半导体行业行业发挥着重要作用。
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