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常见问题
26
/ 2019 / 09
氦质谱检漏仪在压力容器中的常用方法
在压力容器中,使用氦质谱检漏仪检漏常用的方法大体可分为三种,即喷氦法(负压法),吸枪法(正压法),氦罩法。就几种方法的灵敏度比较而言,喷氦法的灵敏度高些。但是当检漏仪安装在大型的、比较复杂的压力容器装置上时,也不敢确切地说喷氦法的灵敏度就是...
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26
/ 2019 / 09
为什么要检漏
泄漏和密封相对应很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行...
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26
/ 2019 / 09
真空检漏技术的相关概念
真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。漏气也叫实漏,是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。虚漏,是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体...
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26
/ 2019 / 09
真空系统漏气率如何降低?
真空系统的结构是影响真空系统密封性和系统漏气率的关键,真空系统的结构合理与否,将直接影响系统的密封性和系统的漏气率。1、尽可能地避免出现小曲率半径的死角,要光滑过渡查刹于打麈抛光、清洗清扫。2、抽空管道、送气管道等与真空室相连接的管道,采用...
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